中村供貨：日本USHIO牛尾投影式光刻機UX-4458SC

中村供貨：日本USHIO牛尾投影式光刻機UX-4458SC

高解析度：采用專業(yè)開發(fā)的高輸出燈以及光學(xué)技術(shù)設(shè)計的投影鏡片，能夠?qū)崿F(xiàn)高效率的高解析度曝光，可滿足精細(xì)圖案的光刻需求。

大口徑投影鏡片：配備大口徑投影鏡片，大幅提高良品率，并達到高產(chǎn)能（Throughput）。

深焦點深度：焦點深度較深，厚膜光阻與變形膠卷均能適用，也可對非平面晶圓進行適當(dāng)曝光，有助于提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品良率。

自動對焦機能：具備自動對焦功能，可因應(yīng)膠帶伸縮等情況，達到高重疊度，保證圖案對準(zhǔn)精度。

適用多種基板和膠卷：適用于多種類型的基板，如玻璃基板、陶瓷基板、印刷電路板等，也能處理寬幅及薄型膠卷，膠卷寬度最大可達 165mm，厚度為 25μm（PI）。

高精度定位：采用TTL 非曝光波長對準(zhǔn)系統(tǒng)，通過圖像處理分別檢測并固定掩模和工件的對準(zhǔn)標(biāo)記在 xy 坐標(biāo)軸上，即使是整體涂鉻的小掩模，也能輕易識別工作記號，并且能通過選擇照明方式和波長提高低對比度標(biāo)記的可見度，還能自動檢測基板伸縮導(dǎo)致的圖案變化并調(diào)整投影倍率，最大調(diào)整范圍為 ±0.1%，在沒有特定對準(zhǔn)標(biāo)記時，也可通過圖像識別對各種布線圖案進行對準(zhǔn)，另外還有多種對準(zhǔn)算法可供選擇以適應(yīng)不同類型的對準(zhǔn)標(biāo)記。

掩模損傷小：投影曝光方式無需掩模與工件接觸，可避免掩模損傷，同時，自動掩模傳輸功能有助于減少因人為失誤導(dǎo)致的掩模損壞或工作類型錯誤，并且能夠在掩模盒中移動和安裝掩模，防止顆粒附著。

高均勻性照明：照明光學(xué)系統(tǒng)能有效集中光源發(fā)出的光，以高度均勻、高平行的方式照射掩模，通過在鏡面上實施特殊涂裝，可選擇曝光波長并阻隔熱線。

多種曝光方式支持：有多種高精度傳輸系統(tǒng)可適應(yīng)不同工件，如硅晶圓、柔性基板和印刷電路板等，還具備可進行批量曝光的大面積曝光場以及適用于更大工作區(qū)域的步進 - 重復(fù)曝光臺，以支持各種曝光需求，實現(xiàn)高效穩(wěn)定的處理。

湖南中村貿(mào)易有限公司代理銷售品牌: 美國Temtop樂控、日本MALCOM馬康、KYOWA共和、NITTO日東工器、日本USHIO牛尾、TRUSCO中山、ASADA淺田、SATO佐藤 、AMADA天田、MIYACHI米亞基、KITZ開滋、SIBATA科學(xué)儀器、SEN、EYE巖崎、CCS、SENA、NPM、YAMADA、REVOX光源、SIMCO思美高、日本閥天VENN桃太郎、YASHIYAMA樫山工業(yè)、hondakiko本多機工泵、EIM泵、kawamoto川本泵、hitachi-pump日立泵、terada寺田泵、aichi-pump愛知真空泵、日本SOGO PUMP相互水泵、ARIMITSU有光泵、NOPGROUP日本油泵、NISHIGAKI西坦泵、KYORITSUKIKO共立機巧、daidopmp大同機械、TERAL泰拉爾、SANRITSUKIKI三立機器、EBARA荏原、V-TEX真空閥門、HORIBA、Osakavacuum大阪真空機器制作所、ATEC 愛泰克、TSUTSUI筒井理化學(xué)、FREEBEAR福力百亞、ISB井口機工、OTC焊條、SHIMIZUKOGYO 清水、YUKEN油研、Panasonic松下焊條、FUSO SEIKI扶桑精肌、HOZAN寶山、VESSEL威威、SSD西西蒂、BONKOTE邦可、MALCOM馬康、METCAL奧科、PISCO碧鑠科、OHTAKE大武、OPK鷗琵凱、ELM易之美、HAKKO EIGHTRON八興、KURABO、New-Era新時代、德國KAISER+KRAFT皇加力、YODOGAWA淀川、SUIDEN瑞電、TECHNO DESIGN、AQUA安跨、ORION好利旺、韓國SP、FURUTO古藤、SOKUDOU速度、KANE凱恩、日本KYORITSU共立理化、日本ADA水分計/微量電子天平   日本KETTI水分計  日本愛森(EISEN)針規(guī)、日本三高(SANKO)膜厚計、理研(RIKEN)水平儀、日本佐藤(SATO)溫濕度計、TASCO溫濕度記錄儀、JPG(螺紋環(huán)規(guī)、塞規(guī))、日本東日(TOHNICHI)、思達(CEDAR)扭力工具、日本勝利(VICTOR)鉗子、氣剪、SHINANO(信濃打磨機，拋光機)、SHOWA昭和振動計、日本中西(NSK)研磨工具、MINIMO研磨工具、日本愛光（AIKOH)、日本依夢達(IMADA)、SUCCESS成功推拉力計和引張力試驗機，日本大冢(OTSUKA)放大鏡、日本必佳(PEAK)放大鏡、日本得樂(TECLOCK)量具