ULVAC 隔膜式干真空泵 膜片泵

膜片泵通過橡膠膜片的往復運動來形成真空。

泵體結構采用無油環(huán)境設計、因此維護簡單。

根據(jù)您對壓力和腔體的要求可以選擇各種不同的泵速和雙段/單段設計。

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