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無掩模光刻機

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托托科技是一家是專注于光學(xué)顯微加工及檢測的光學(xué)設(shè)備制造廠商。目前公司擁有五個核心產(chǎn)品線:

(A)無掩膜光刻機

(B)磁學(xué)產(chǎn)品

(C)多模態(tài)光電顯微鏡

(D)超高精度3D打印

(E)3D顯微鏡

已經(jīng)形成了集設(shè)計、研發(fā)、制造、銷售及客戶咨詢服務(wù)為一體的高科技企業(yè),致力于給客戶提供技術(shù)支持,以專業(yè)技術(shù)和細致設(shè)計造就高品質(zhì),以耐心服務(wù)和企業(yè)擔(dān)當(dāng)贏得良好口碑。

公司旗下產(chǎn)品的品牌名稱為TuoTuo,擁有中國及新加坡兩個研發(fā)中心,其中托托科技(蘇州)是中國區(qū)業(yè)務(wù)的運營主體,TuoTuoTechnology(Singapore) Pte.Ltd. 是國際業(yè)務(wù)的運營主體。




無掩膜版紫外光刻機,超高精度3D光刻產(chǎn)品,形貌表征產(chǎn)品,光電光譜分析產(chǎn)品,3D成像顯微物鏡,磁光電聯(lián)合分析

托托科技推出的無掩模光刻機采用前沿的技術(shù),提供了多種型號以滿足不同的需求。這些光刻機基于空間光調(diào)制器原理,擺脫了傳統(tǒng)實體掩模的限制,以其高精度、高效率和高靈活性而受到用戶的青睞。我們主要應(yīng)用于科學(xué)研究、小批量多種類的生產(chǎn)等領(lǐng)域,如掩模版制造、二維材料器件、微流道芯片和MEMS器件等。托托科技的光刻機產(chǎn)品線包括多個版本可供選擇:

科研版(ACA系列):此型號基于空間光調(diào)制技術(shù),實現(xiàn)了數(shù)字掩膜光刻。它具有長壽命、高功率的紫外光源,設(shè)備穩(wěn)定且操作簡單。其特色功能包括原位光繪和交互式套刻指引,使得光刻和套刻更加精準和容易。

教育版(Young):這是一款桌面型無掩膜光刻機,靈活小巧,非常適合用于微電子、集成電路等領(lǐng)域的實驗課程。

高速版(Speed):這個版本具備更快的加工速度和更強的設(shè)備性能,適用于小批量生產(chǎn)制造。


托托科技的無掩模光刻機具有多種優(yōu)勢,如無需掩模版的靈活性、高加工精度(可達400 nm)、高速度(可達1200 mm2/min)以及大加工幅面(可達2 m2)。此外,我們還提供了4096階的灰度光刻能力,能夠構(gòu)建出具有高度復(fù)雜且細膩層次變化的微觀結(jié)構(gòu)或圖案。


托托科技的光刻機憑借其性能和靈活的技術(shù),在多個高科技領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。無論是二維材料的精準加工、微流控芯片的復(fù)雜制作,還是MEMS器件的精細制造,托托科技的光刻機都能提供高效解決方案。同時,它在微透鏡、光學(xué)衍射器件、浮雕結(jié)構(gòu)、超表面以及量子光學(xué)等前沿領(lǐng)域也展現(xiàn)出強大的應(yīng)用潛力,為科學(xué)研究和技術(shù)創(chuàng)新提供了有力支持。




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