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Solaris 100 /150/200 SSI快速退火爐
- 公司名稱(chēng) 邁可諾技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) Solaris 100 /150/200
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/7/1 20:32:00
- 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 1913
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勻膠機(jī)，光刻機(jī)，顯影機(jī)，等離子清洗機(jī)，紫外臭氧清洗機(jī)，紫外固化箱，壓片機(jī)，等離子去膠機(jī)，刻蝕機(jī)，加熱板
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池 |
|---|
美國(guó)RTP系列的快速退火爐溫度均勻度≤1%，處理的大尺寸可以達(dá)到200mm，溫度可以達(dá)到1200攝氏度，處理過(guò)程可以在真空環(huán)境或者惰性氣體的環(huán)境中執(zhí)行，做多可支持4~6路進(jìn)氣，可以用到的氣體包含N2，O2，N2H2，Ar和H2。
基于PID處理控制器的Solaris GUI可以存儲(chǔ)程序，每套程序可以支持高達(dá)100個(gè)步驟的設(shè)定，帶USB2.0的接口。包含Solaris GUI 軟件，與微軟Windows操作系統(tǒng)兼容。通過(guò)該軟件，通過(guò)鏈接電腦可以非常方便地實(shí)現(xiàn)程序編輯以及數(shù)據(jù)記錄。
技術(shù)規(guī)格：
- 溫度：1200攝氏度；
- 升溫速率：150攝氏度/秒；
- 溫控均勻性：±2.5℃設(shè)定溫度；
- 加熱方式：紅外鹵素?zé)?，頂部及底部區(qū)域加熱；
- 處理時(shí)間：0.1秒至無(wú)*；
- 燈管數(shù)量及功率：13支，
- 腔體冷卻：風(fēng)冷方式；
- 襯底冷卻：氮?dú)獯祾撸?/span>
- 工藝氣路：MFC控制，多6路 (氮?dú)狻鍤?、氧氣、氫氮混合氣?/span>)；
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