AL120-12晶圓搬送機半導體顯微鏡

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公司名稱 上海西努光學科技有限公司
品牌 OLYMPUS/奧林巴斯
型號
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 代理商
更新時間 2025/7/10 20:33:26
訪問次數(shù) 2900

產(chǎn)品標簽

AL120-12晶圓搬送機半導體顯微鏡奧利巴斯顯微鏡晶圓搬送機搬送機

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公司介紹 主營產(chǎn)品

西努光學創(chuàng)建于2003 年，主營工業(yè)顯微鏡及制樣設備、鏡片測定設備，高速攝像系統(tǒng)、工業(yè)內(nèi)窺鏡、機器視覺等工業(yè)及科研應用的檢測設備及系統(tǒng)集成。
西努光學秉承“以光學為核心，為客戶提供解決方案”的經(jīng)驗思路，經(jīng)過16年的努力，成為眾多企業(yè)、高?？蒲袉挝惶峁└鞣N專業(yè)化的光學系統(tǒng)解決方案。并于2012 年導入SAP 管理系統(tǒng)，通過系統(tǒng)資源整合，為客戶提供更優(yōu)質(zhì)、快捷的專業(yè)化服務。
2016 年，我們積極引進檢測設備的同時導入制樣等配套設備以豐富我們實驗室平臺，以更好的為客戶提供現(xiàn)場體驗，從微米到納米滿足客戶從制樣到結(jié)果分析的一站式體驗服務。

展開

奧林巴斯顯微鏡,奧林巴斯工業(yè)內(nèi)窺鏡,iX高速攝像機,標樂金相制樣設備,威爾遜硬度計,navitar鏡頭,日立掃描電鏡,加拿大WDI光學設備

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AL120-12晶圓搬送機半導體顯微鏡詳細介紹：

AL120-12晶圓搬送機對應可使用FOUP（裝載口）和FOSB，適用于低成本的后期檢查。安全且符合人體工程學的設計確保了操作人員在搬送晶圓時（包括薄晶圓和變形晶圓）的效率和安全。

人機工程學設計，操作方便
•可以自由設置的檢查模式，在設計上考慮了后道工程中的操作性，尤為重視設備的操作簡便性。
•分別對應FOUP(Load Port）和FOSB的兩種機型。堅固、可靠和安全傳送
•延續(xù)了上一代機型的堅固性、可靠性和安全性，能夠安全可靠的傳送300 mm晶圓。
•薄片，Warped晶圓皆能安全搬送。
•宏觀觀察位置的*化和操作單元的集中排列，提高了設備的操作舒適性。
AL120-12晶圓搬送機半導體顯微鏡宏觀照明裝置

宏觀照明裝置

為異物、傷痕、膜斑、散焦的發(fā)現(xiàn)提供了理想的照明方式
高亮度金屬鹵化物光源與光纖照明的組合，實現(xiàn)了300 mm晶圓的冷光源全面照射。

自動300 mm晶圓搬送機 AL120-12 規(guī)格
	AL120-LMB12-LP	AL120-LMB12-F
晶圓尺寸	300 mm（SEMI M1.15 t＝775 μm）可選：200 mm
卡盒	●FOUP（Front Opening Unified Pods）前開門標準夾 ●SEMI：E47.1-0200規(guī)格產(chǎn)品 ●FIMS-FOSB, FOSB	●FOSB（Front Opening Shipping Box）前開門搬運盒 ●SEMI：M31-0999規(guī)格產(chǎn)品
卡盒數(shù)	單盒（裝載、卸載兼用）
卡盒設置高度	900 mm
裝載端口	有	無
搬運順序	表面宏、內(nèi)面宏、顯微鏡檢查
檢查模式	全部檢查、抽樣檢查
晶圓校準	非接觸式中心環(huán)
晶圓搬運方式	真空吸附機械搬運
適用顯微鏡	半導體檢查顯微鏡MX61L
應用環(huán)境	AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz 真空-67～-80 Kpa 壓縮空氣0.5MPa～0.6MPa	AC100～120 V，220～240 V，3.0/1.7 A，50/60 Hz 真空-67～-80 Kpa
載物臺	XY手動吸附載物臺，有XY粗調(diào)／微調(diào)和360度旋轉(zhuǎn)機構
重量（不包括顯微鏡）	約360 kg	約270 kg