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EMS 7620 迷你型離子濺射鍍膜儀EMS 7620 “Mini” Sputter Coater

EMS 7620是一款緊湊、實(shí)惠型SEM離子濺射鍍膜儀，鍍碳附件EMS7620-CF作為可選件為鍍碳時(shí)所需。該款設(shè)備具備輝光放電功能，這對(duì)于TEM的碳膜或其它材料樣本表面修飾非常有幫助。
特征：

規(guī)格參數(shù)：

整機(jī)尺寸	340mm W x 130mm D x 250mm H （unpacked）不包括腔室
現(xiàn)場(chǎng)條件：
電氣要求	240VAC - 13A, 頻率50Hz，額定功率250VA,真空泵的額定輸出是230V 、10A
濺射氣體	氬氣（零級(jí)），配有二級(jí)壓力調(diào)節(jié)器，工作氣體壓力在5-10psi
真空泵	真空壓力不低于10-2mbar ，流量50L/m 或 90L/m 的二級(jí)旋轉(zhuǎn)真空泵
碳蒸發(fā)附件（可選）	EMS 7620-CF 碳蒸發(fā)附件與EMS7620可以配套使用

貨號(hào)	產(chǎn)品	規(guī)格
EMS 7620	EMS 7620 迷你型離子濺射鍍膜儀EMS 7620 “Mini” Sputter Coater 包含： 91017-AP gold/palladium （Au/Pd） target, 1m length of 12mm bore flexible vacuum hose, 1 x KF25 hose adapter flange and fittings to fit a rotary pump, 1 x rotary pump plug, comprehensive operating instructions	each
91017-Au	金靶Gold （Au） target	each
91017-AP	金鈀Gold/palladium （Au/Pd） target	each
91017-Pt	鉑靶Platinum （Pt） target	each
91017-Ag	銀靶Silver （Ag） target	each
91017-Pd	鈀靶Palladium （Pd） target	each
91017-.2-Au	金靶Gold target （Au） 0.2mm thick	each
91017-.2-AP	金鈀Gold/palladium （Au/Pd） target 0.2mm thick	each
91017-.2-Pt	鉑靶Platinum （Pt） target 0.2mm thick	each
91003	愛(ài)德華旋轉(zhuǎn)真空泵RV-3 two-stage rotary pump with oil mist filter （115/230V 50/60Hz）	each
96000	Replacement oil mist filter	each
91040	碳蒸發(fā)附件（鍍碳時(shí)選用）Carbon evaporation attachment — EMS 7620	each

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