自動濺射噴金儀LUXORAu是一種良好的全自動濺射設(shè)備，可在1~100nm的厚度范圍內(nèi)實現(xiàn)涂覆細(xì)顆粒金涂層,幫助樣品獲得好的SEM成像質(zhì)量。
自動濺射噴金儀的A2技術(shù)在工藝氣體中產(chǎn)生受控等離子體。在等離子體中，離子通過高壓被加速，并被引導(dǎo)到金靶上。因此，好的金原子團(tuán)簇從靶中釋放出來，并以精確的方式覆蓋樣品，從而形成極其均勻、薄且均勻的金層。
自動濺射噴金儀適合SEM成像應(yīng)用,可用于高達(dá)10萬倍放大率的掃描電鏡成像應(yīng)用，該鍍膜機(jī)旨在改善二次電子發(fā)射。因此，顯微鏡的探測器將獲取更多高分辨率成像細(xì)節(jié)。另一個優(yōu)點是減少了光束穿透，從而顯著提高了邊緣分辨率。此外，這可防止敏感樣品受損。
自動濺射噴金儀規(guī)格參數(shù)
空氣或氬氣鍍金
最大容量：7 x?12.5 mm或3 x?25 mm短樁
平均涂層時間：5分鐘（基于10納米金涂層）
額外的真空和干燥模式
低能雙級泵
真空和干燥模式：7Pa至150Pa（可連續(xù)選擇）
處理時間：1至600分鐘（可連續(xù)選擇）
金層厚度：1至100納米（連續(xù)可選）
工藝室：硼硅酸鹽玻璃?100 mm x 150 mm高
內(nèi)爆防護(hù)罩：120毫米×150毫米高
真空接頭：DN 16 KF
氣體供應(yīng)：空氣或氬氣（0.6bar）
尺寸：340 x 340 x 290（毫米，寬x深x高）
體重：11公斤