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賦能智能制造與安全運行的“精準之眼”，高精度壓力測量及校準線上會議即將開啟
2025年6月4日13:00，為突破測量精度極限、構(gòu)建[詳細]
能源效率飛躍提升，極紫外光刻技術(shù)大幅降低生產(chǎn)成本！
2024年08月02日 11:52:02
來源：化工儀器網(wǎng) 作者：南笙 點擊量：10160
近日，日本沖繩科學技術(shù)大學院大學（OIST）宣布了一項突破性的科技成果——一種全新的極紫外（EUV）光刻技術(shù)。
【化工儀器網(wǎng) 項目成果】 隨著人工智能、數(shù)據(jù)中心、物聯(lián)網(wǎng)等新興技術(shù)的快速發(fā)展，對半導體芯片的需求不斷擴大。特別是在中國等新興市場，消費電子、通信設備、智能家居等領(lǐng)域的快速增長，為半導體產(chǎn)業(yè)提供了巨大的市場空間。為了應對日益增長的市場需求，半導體制造商紛紛擴大產(chǎn)能，但同時半導體制造業(yè)面臨著巨大的成本壓力，包括原材料成本、設備成本、人工成本等。為了降低成本并提高競爭力，半導體制造商正在采取多種措施，如優(yōu)化生產(chǎn)流程、提高設備利用率、降低廢品率等。
近日，日本沖繩科學技術(shù)大學院大學(OIST)宣布了一項突破性的科技成果——一種全新的極紫外(EUV)光刻技術(shù)，該技術(shù)有望徹底改變半導體制造業(yè)的現(xiàn)狀，大幅提高能源效率并顯著降低制造成本。
據(jù)OIST最新報告，該校設計的這種EUV光刻技術(shù)超越了當前半導體制造業(yè)的標準界限。其核心優(yōu)勢在于采用了更小的EUV光源，其功耗僅為傳統(tǒng)EUV光刻機的十分之一左右。這一顯著的功耗降低不僅直接降低了生產(chǎn)成本，還大幅提高了光刻設備的可靠性和使用壽命，為半導體制造商帶來了前所未有的經(jīng)濟效益。
為了進一步優(yōu)化光照效果，研究團隊還設計了一種名為“雙線場”的新型照明光學方法。該方法利用EUV光從正面照射平面鏡光掩模，同時確保不會干擾光路。這種巧妙的設計不僅解決了光線相互干擾的問題，還提高了光照的均勻性和效率。
在傳統(tǒng)的光刻過程中，由于光源的限制，往往需要較長的曝光時間，導致能源消耗較大。而極紫外光刻技術(shù)采用的光源具有更高的能量密度，可以在更短的時間內(nèi)完成曝光過程，從而大大減少了能源消耗。這不僅有利于降低生產(chǎn)成本，還有助于減少對環(huán)境的影響，實現(xiàn)綠色制造。
其次，在半導體制造過程中，光刻膠、掩模和光刻機等關(guān)鍵材料和設備的成本占據(jù)了很大比例。而極紫外光刻技術(shù)采用的新型光刻膠和高精度光刻機，雖然初期投入較高，但由于其高效的生產(chǎn)能力和較低的線寬粗糙度，可以有效降低單位產(chǎn)品的制造成本。此外，極紫外光刻技術(shù)還具有較高的兼容性，可以與現(xiàn)有的半導體制造工藝相結(jié)合，進一步降低生產(chǎn)成本。
除了提高能源效率和降低成本之外，極紫外光刻技術(shù)還為半導體行業(yè)的創(chuàng)新發(fā)展提供了有力支持。隨著物聯(lián)網(wǎng)、人工智能、5G通信等新興技術(shù)的蓬勃發(fā)展，對半導體器件的性能要求越來越高。而極紫外光刻技術(shù)為實現(xiàn)更小尺寸、更高性能的半導體器件提供了可能，有望推動半導體行業(yè)邁向更高層次的發(fā)展。
然而，任何一項新技術(shù)的推廣和應用都離不開產(chǎn)業(yè)鏈的協(xié)同發(fā)展。為了充分發(fā)揮極紫外光刻技術(shù)的優(yōu)勢，我們需要加強相關(guān)材料、設備和工藝的研發(fā)，推動整個產(chǎn)業(yè)鏈的升級。同時，還需要加強人才培養(yǎng)，吸引更多優(yōu)秀人才投身于半導體行業(yè)，為我國半導體產(chǎn)業(yè)的持續(xù)發(fā)展提供人才保障。
目前，這項創(chuàng)新技術(shù)已經(jīng)申請了專利，并有望在未來幾年內(nèi)進入商業(yè)化應用階段。這一新技術(shù)的問世將給全球EUV光刻市場帶來巨大經(jīng)濟效益，推動半導體制造業(yè)向更高效、更環(huán)保的方向發(fā)展。
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