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上海市發(fā)布《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標準(二次征求意見稿)》
2022年09月23日 15:40:19 來源:化工儀器網(wǎng) 作者:宋池 點擊量:4543

近日,上海市生態(tài)環(huán)境局征求《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標準(二次征求意見稿)》意見,截止日期為2022年10月20日。

  【化工儀器網(wǎng) 標準發(fā)布】近日,上海市生態(tài)環(huán)境局征求《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標準(二次征求意見稿)》意見,截止日期為2022年10月20日。
 
  半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)過程會排放有機廢氣、酸性廢氣以及堿性廢氣等污染物。這些污染物是生成酸雨和二次細顆粒物PM2.5的前提因子,有機廢氣、酸性廢氣的排放轉(zhuǎn)化為二次污染是導(dǎo)致形成區(qū)域性光化學(xué)煙霧、酸雨和灰霾/霧霾復(fù)合型污染物的重要原因之一。同時,半導(dǎo)體行業(yè)屬于耗水量巨大的行業(yè),由此產(chǎn)生的廢水排放量也很大。因必須的電鍍等工藝,還會產(chǎn)生重金屬的排放,形成一定的環(huán)境風(fēng)險。
 
  上海是我國集成電路產(chǎn)業(yè)最集中、產(chǎn)業(yè)鏈相對最為完整、綜合技術(shù)水平最高的產(chǎn)業(yè)基地,芯片設(shè)計、制造與封裝測試業(yè)在我國均占有重要地位。隨著國家進一步貫徹落實《國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進綱要》,以及《中國制造業(yè)2025》等國家戰(zhàn)略的實施,上海集成電路產(chǎn)業(yè)將展示出更為廣闊的發(fā)展前景。因此對于行業(yè)發(fā)展產(chǎn)生的污染排放也需要制訂更嚴格的標準。
 
  現(xiàn)行標準自2007年2月1日正式實施,本次修訂為第一次修訂,對DB31/374-2006的主要修訂之處如下:
 
  調(diào)整了水污染物排放標準的標準分級;將原第一類污染物兩個級別的排放標準調(diào)整為執(zhí)行同一級別的排放標準,將原第二類污染物三個級別的直接排放標準調(diào)整為同一個級別;調(diào)整了大氣污染物排放標準的排放速率控制方式,將原來按不同排氣筒高度制定標準調(diào)整為執(zhí)行同一標準;
 
  調(diào)整了污染物控制項目:增加了水污染物控制項目石油類、總氮、總磷、陰離子表面活性劑、總鋅、總硼、總鈷、總錫、總鉈、綜合毒性;增加了大氣污染物控制項目氯氣、氰化氫、錫及其化合物、苯、苯系物、非甲烷總烴、顆粒物、氮氧化物;
 
  調(diào)整了部分污染物項目的排放限值;收嚴了懸浮物、化學(xué)需氧量、五日生化需氧量、總有機碳等10項水污染物項目的排放限值;收嚴了硫酸霧、氯化氫、揮發(fā)性有機物等3項大氣污染物的排放限值;
 
  增加了廠界大氣污染物控制點濃度限值;
 
  更新了部分污染物項目的測定分析方法。
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